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飛旋磁懸浮復(fù)合分子泵,采用五自由度磁懸浮軸承,可實(shí)現(xiàn)泵體的任意角度安裝,通用接口設(shè)計(jì),適合各種設(shè)計(jì)需求、豐富擴(kuò)展功能,滿足客戶定制化需求,抽速范圍1000-2300L/S, 最高轉(zhuǎn)速42000rpm, 極限真空5*10-8Pa,兼容國(guó)外同類產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于科研、節(jié)能玻璃、太陽(yáng)能光伏、液晶面板制造等行業(yè)。